真空蒸发制备稀土掺杂ZnSe薄膜及其特性研究

题名:真空蒸发制备稀土掺杂ZnSe薄膜及其特性研究
作者:吴蓉
学位授予单位:内蒙古大学
关键词:真空蒸发;;稀土掺杂;;ZnSe薄膜
摘要:
 采用真空蒸发法在玻璃衬底上制备了稀土Dy、Nd掺杂的ZnSe薄膜，在氮气气氛中，T=350℃, t=20min下对薄膜进行热处理，并采用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、紫外可见分光光度计以及原子力显微镜对薄膜的性能进行了测Magnetic lifter试。通过测试结果，分析并优化了ZnSe薄膜的制备工业，同时研究了稀土Dy、Nd掺杂对ZnSe薄膜特性的影响。
 实验结果表明：高纯单质锌与硒按照原子配比Zn:Se=0.9:1混合蒸发，可制备较理想的纯ZnSe薄膜。在氮气保护下，热处理温度T≥250℃, t=20min时，可获得完全为ZnSe物相的多晶薄膜，薄膜中未出现单质Zn或单质Se的物相。
 稀土掺杂对ZnSe薄膜的晶体学、光学性质产生了明显影响。掺杂Dy并未改变薄膜的晶体结构及导电类型，但影响了薄膜表面形貌，抑制了ZnSe的结晶，还使得薄膜的晶粒尺寸和内应力减小，晶格常数及晶http://www.999magnet.com/products/131-magnetic-lifter胞体积变大，薄膜的光学带隙有所减小，光透射性得到改善。掺杂Nd与掺杂Dy对ZnSe薄膜有相似的影响，未改变样品的晶体结构及导电类型，但影响了表面形貌，抑制了ZnSe的结晶，使得薄膜内应力及晶粒尺寸减小，晶格常数及晶胞体积变大，光透射性得到改善，但缩小了ZnSe薄膜的光学带隙。
学位年度:2010